Roulements de précision, couronnes d'orientation et guidages linéaires pour la technologie des semi-conducteurs et l'automatisation des salles blanches

Précision et fiabilité

Dans la technologie des semi‑conducteurs, la précision, la compatibilité salle blanche et la sécurité des procédés déterminent la qualité des produits et la rentabilité. Qu'il s'agisse de la manipulation de plaquettes (wafer handling), de la lithographie, de systèmes d'inspection ou de l'automatisation en salle blanche – les installations modernes de fabrication de semi‑conducteurs imposent des exigences maximales à chaque composant.

Franke soutient les fabricants d'équipement d'origine (OEM) et les constructeurs d'installations avec des roulements sur joncs, des couronnes d'orientation et des guidages linéaires innovants, spécifiquement développés pour des tâches de mouvement hautement précises. Grâce à leur conception compacte, leur faible masse et leur grande capacité d'intégration, ils contribuent à rendre les machines plus performantes, plus efficaces et plus économiques.

Technologie des semi‑conducteurs & fabrication de puces

La fabrication des semi‑conducteurs modernes exige une stabilité maximale du procédé à l'échelle microscopique. Parallèlement, les exigences en matière de dynamique, d'automatisation et de rentabilité augmentent continuellement. Les concepteurs et les constructeurs d'installations sont donc confrontés au défi de réaliser des mouvements de haute précision de manière sûre et reproductible dans des conditions ambiantes complexes.

Exigences pour salles blanches et maîtrise des contaminations
Les plus petites particules peuvent déjà altérer la qualité des processus de fabrication sensibles. Les composants doivent donc être adaptés aux salles blanches, présenter de faibles émissions et contribuer à prévenir les contaminations.
Précision maximale et répétabilité
Dans les systèmes de manutention de plaquettes (wafer handling), les équipements d'inspection ou les systèmes de lithographie, des positionnements exacts sont cruciaux. Sont exigés des erreurs de faux‑rond minimales, une répétabilité maximale et des mouvements durablement stables.
Mouvements dynamiques et faibles temps de cycle
Les lignes de production modernes doivent atteindre des débits élevés. Cela exige des vitesses élevées, de fortes accélérations et, parallèlement, des mouvements précis et contrôlés.
Espace d'installation limité
L'intégration de fonctions supplémentaires dans des concepts de machines toujours plus compacts impose de fortes exigences à la conception et aux composants. Les solutions économes en espace deviennent un avantage concurrentiel décisif.
Fiabilité maximale
Les arrêts de production dans la fabrication de puces entraînent des coûts élevés. Les composants doivent fonctionner de façon fiable sur le long terme, minimiser les besoins de maintenance et favoriser une disponibilité maximale des installations.
Rentabilité sur l'ensemble du cycle de vie
Outre les performances techniques, la réduction du poids, les conceptions simplifiées et un faible coût total de possession (Total Cost of Ownership, TCO) prennent une importance croissante.

Nos solutions pour l'industrie des semi‑conducteurs

Franke roulements sur joncs pour des mouvements de haute précision

"Les roulements sur joncs Franke allient faible masse, grande capacité de charge et liberté de conception exceptionnelle. Grâce au principe éprouvé Franke, les pistes de roulement sont réalisées indépendamment du boîtier, ce qui permet des géométries individuelles et des intégrations sur mesure. "

Vos avantages

Grande précision pour les mouvements rotatifs
Masses en mouvement réduites
Dynamique optimisée et efficacité énergétique
Concepts de machines compacts
Adaptation sur mesure aux applications en salle blanche et dans le secteur des semi‑conducteurs

Liberté de conception pour des concepts de machines innovants

Grâce à des solutions en aluminium, à des géométries personnalisées et à de larges possibilités d'intégration, Franke aide les concepteurs à concrétiser des concepts de machines innovants.

Avantages pour les développeurs et les concepteurs :

Intégration des fonctions plutôt que l'ajout d'ensembles supplémentaires
Réduction du nombre de pièces
Conceptions simplifiées
Meilleure efficacité énergétique
Designs personnalisés pour des applications exigeantes

Franke liaisons rotatives pour grands diamètres à haute précision

Dans les systèmes d'inspection, les installations de manutention de plaquettes (wafer) ou les solutions robotiques, les liaisons rotatives Franke permettent des mouvements rotatifs d'une grande précision même à de grands diamètres.

Vos avantages

Haute précision de faux‑rond
Grand dégagement central pour le passage des câbles, des médias et des conduites de procédé
Poids réduit malgré de grandes dimensions
Intégration d'ensembles complexes
Conditions optimales pour les architectures d'installation modernes

Guide lineari Franke per operazioni di posizionamento dinamico

Le guide lineari Franke consentono movimenti lineari precisi, combinando al contempo un’elevata dinamica e una lunga durata. Sono adatte a numerose applicazioni nel settore della tecnologia dei semiconduttori e dell’automazione delle camere bianche.

I vantaggi per voi

Posizionamento preciso di wafer e componenti
Elevate accelerazioni
Tempi di ciclo brevi
Versioni personalizzate
Adattamento a condizioni ambientali specifiche

I nostri vantaggi per l'industria dei semiconduttori

Particolarmente adatto per applicazioni esigenti nella tecnologia dei semiconduttori
Alta precisione e ripetibilità
Soluzioni conformi alle camere bianche
Peso ridotto con elevata capacità di carico
Design compatto per impianti ad alta densità
Alta dinamica e tempi di ciclo brevi
Adattamento individuale all'applicazione specifica
Ampia libertà progettuale grazie alla tecnologia a cuscinetti a sfere
Integrazione di funzioni e componenti aggiuntivi
Riduzione di peso, ingombro e consumo energetico
Alta affidabilità e disponibilità
Supporto nella riduzione del Total Cost of Ownership